© Park Systems AFM

きょうご紹介した企業は、京畿道（キョンギド）水原（スウォン）市に本社を置く中小企業で、原子間力顕微鏡を開発・製造する「パークシステムズ」です。

原子間力顕微鏡は、試料と探針の原子間にはたらく力を検出して画像を得る顕微鏡です。先端を尖らせた針を膜の表面上で走査して、針が感じる原子間力を電気信号に変えることで表面の形状を観察します。

原子間力顕微鏡は、1985年にアメリカのスタンフォード大学で発明されました。「パークシステムズ」の創立者であるパク・サンイル代表は、当時、同大学で博士課程の勉強をしていて、開発に参加しました。そして、卒業後の1988年にシリコンバレーで会社を設立し、原子間力顕微鏡を世界で初めて製品化しました。その後、1997年に会社を売却して帰国し、産業用の原子間力顕微鏡の開発を目指して「パークシステムズ」を立ち上げたのです。

「パークシステムズ」は、原子間力顕微鏡が持つ限界を乗り越えるため、製品に3つの工夫を施しました。まず、探針の摩耗が進む接触方式ではなく、非接触方式を採用しました。次に、3次元の3つの軸のうち前後方向の軸だけを切り離すことで、完全な平面画像の正確な測定を可能にしました。さらに、より使いやすくするため、自動化ソフトを開発・搭載しました。

「パークシステムズ」は、市場で圧倒的な技術優位に立っており、世界各国の主な国家機関や大学の研究室、国内外の大手企業に製品を供給しています。また、半導体関連企業の90％以上が「パークシステムズ」の製品を使用しています。

「パークシステムズ」は最も優れた計測機器を市場に提供し続ける企業になることを目指しています。

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