© Park Systems AFM

С 3 по 5 июля в Корейском международном выставочном центре KINTEX в городе Кояне провинции Кёнгидо проходила выставка Nano Korea, входящая в тройку крупнейших профильных мероприятий мира. Выставка посвящена новейшим нанотехнологиям и соответствующей продукции. В этом году в ней приняли участие 436 компаний из 12-ти стран. Организаторы провели церемонию вручения наград наиболее отличившимся южнокорейским компаниями, внёсшим вклад в развитие отечественной наноиндустрии. С этого выпуска мы будем знакомиться с лауреатами награды Nano Korea Award. Первая на очереди компания Parksystems (파크시스템스). Расскажет нам о ней начальник исследовательского отдела компании г-н Чо Сан Чжун. 

Технологии атомно-силовых микроскопов имеют большой потенциал. Но у них есть несколько слабых сторон, которые осложняют их применение в промышленности. Мы в течение трёх лет вели госпроекты, в рамках которых удалось разработать технологию работы атомно-силовых микроскопов в автоматическом процессе инлайн. В течение двух лет мы заняли эту нишу на рынке. Оценка успешности в реализации госпроекта составила 97 баллов. В настоящий момент наша страна более чем на 90% зависит от импорта новейшего измерительного оборудования. Поэтому история нашего успеха имеет большое значение, за что мы и получили награду. 

Награда премьер-министра является наивысшим признанием успеха в рамках Nano Korea Award. В этом году на выставке её получила компания Parksystems, представившая 3D атомно-силовой микроскоп, предназначенный для процесса инлайн в производстве полупроводников и работы с наночастицами диаметром 30 нанометров. Эта компания является единственным в стране производителем такого оборудования. 

Parksystems является единственным в нашей стране производителем атомно-силовых микроскопов, обладающим высочайшими технологиями мирового уровня. Мы начали работу в 1997 году, а в 2015 году разместили свои ценные бумаги на бирже. Есть несколько видов таких микроскопов. Более 90% рынка приходится на AFM (Atomic Force Microscope), который был создан в 1985 году в Стэнфордском университете. В процессе разработки принимал участие глава нашей компании, который на тот момент трудился над получением статуса доктора наук. После окончания университета, в 1988 году в силиконовой долине он открыл компанию PSI, которая впервые в мире коммерциализировала AFM. Это оборудование является неотъемлемой частью разработки нанотехнологий. В 1997 году он продал компанию и вернулся на родину, открыв компанию с целью создания промышленного атомного микроскопа. 

Глава компании г-н Пак Сан Иль является учеником известного учёного Кельвина Квейта, который за вклад в идею создания атомного микроскопа был удостоен премии Кавли (Kavli Prize), по сути дела второй Нобелевской премии. Окончив Сеульский госуниверситет по специальности физика, он получил степень доктора наук по этой же специальности в Стэнфордском университете. Далее он решил открыть своё дело, отказавшись от преподавательской деятельности. В 1988 году впервые в мире г-н Пак Сан Иль создал компанию, которой удалось коммерциализировать атомный микроскоп. Вернувшись домой, он основал компанию Parksystems.

Атомный микроскоп, в отличие от электронного микроскопа, созданного 90 лет назад, находится на начальной стадии развития. С момента начала его разработки прошло лишь 30 лет. У него есть очень высокий потенциал. Это оборудование применяется только в сфере новейших исследований. У него есть слабые стороны, касающиеся предоставления количественных данных. Поэтому в промышленности они не применялись. Мы сумели открыть технологию, исправившую такую ситуацию, создав условия для удобного применения атомных микроскопов в промышленности через автоматизацию и систему предоставления точной информации.  

Атомный микроскоп, как понятно из названия, даёт возможность работать с мельчайшими частицами на уровне атомов. Его конструкция отличается от обычных микроскопов, действующих за счёт линз. Вместо линз в нём установлен тончайший зонд, который позволяет видеть структуру расположения атомов на поверхности объекта. В зависимости от его типа, атомный микроскоп способен работать с величинами диаметром 0,1 нанометра. Но есть и минусы: из-за сверхчувствительности оборудования сложно добиться стабильности и устойчивости в промышленном применении. Parksystems применила ряд идей для исправления этой ситуации. Способ контактной работы, который быстро изнашивает зонд, был заменён на бесконтактный. Из трёх основ трёхмерного пространства – X - Y - Z выделяется только Z, что позволяет получать чёткую картинку в плоскости. Было создано и программное обеспечение, обеспечивающее работу оборудования в автоматическом режиме. Компания имеет 32 патента внутри страны и за её пределами. Parksystems единственная в мире добилась коммерческого применения системы умного сканирования, которая обеспечивает работу микроскопа в автоматическом режиме. 

Наша продукция применяется почти во всех сферах. Мы поставляем оборудование учёным из университетов Гарвард, Беркли, Стэнфорд, а также в международные организации NASA и IMEC. Более 90% производителей полупроводников используют наши разработки. Продукция Parksystems используется даже в компаниях Rolex, Coca-Cola, в сталелитейной отрасли, в больницах и других областях. Мы надеемся, что этот список расширится. Технологии атомных микроскопов находятся на стадии роста. К счастью, мы хорошо начали и добились успеха. Мы будем продолжать работу, чтобы предоставлять всему миру лучшие измерительные технологии. 

В настоящий момент рынок атомных микроскопов составляет лишь 1/10 от рынка электронных микроскопов. Однако ситуация меняется. Это связано с быстрым ростом спроса на полупроводники, хард-диски с большим объёмом памяти и других подобных девайсов. На этом фоне Parksystems имеет хорошие перспективы, обладая ключевыми технологиями. 

© Park Systems AFM