フッ化水素など高純度ガスの品質を評価する設備が韓国独自の技術で開発され、韓国企業を対象にサービスを始めることになりました。
韓国標準科学研究院（KRISS）が開発したもので、半導体製造に使われるフッ化水素をはじめ、およそ20種類の高純度ガスの品質分析サービスを行う予定です。
フッ化水素は半導体の重要素材ですが、去年、輸入元だった日本が韓国に対して輸出管理を強化したため、韓国では国産化が進められてきました。
韓国標準科学研究院は、半導体素材の国産化を支えるため、去年８月から品質評価設備の開発に取り組み、このほど設備を完成させました。
シリンダーに入った液体状態のフッ化水素を気化して気体上の不純物を分析し、誘導結合プラズマ質量分析装置で金属成分の不純物を分析し、最終純度を決める仕組みになっています。
韓国標準科学研究院は来年上半期までに標準試験手順書をまとめ、20種類あまりのガス素材の分析法を開発し、韓国企業の技術自立化をサポートする計画です。